傳感器作為軍事電子裝備的“感官”，是決定軍事電子裝備水平的關(guān)鍵部件之一?；鸺l(fā)動機(jī)、航空發(fā)動機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動力設(shè)備的主要部件處在高溫惡劣環(huán)境，燃燒室溫度甚至超過2000℃。利用高溫傳感器可對噴嘴燃燒室、壓氣機(jī)、葉片等關(guān)鍵部位的壓力、溫度等參量進(jìn)行實時監(jiān)測，提高燃燒性能和推進(jìn)效率，并對部件健康狀態(tài)進(jìn)行評估。液體火箭發(fā)動機(jī)的推力室主要由推進(jìn)劑噴嘴、燃燒室、噴管組件等裝置組成。當(dāng)噴嘴處的壓力足夠高時，就會形成噴嘴阻流和超音速射流，大部分的熱能就可轉(zhuǎn)換成動能，對噴嘴處壓力的實時監(jiān)測有助于優(yōu)化發(fā)動機(jī)燃燒室收縮比設(shè)計，可提高火箭發(fā)動機(jī)的推進(jìn)效率。燃燒室點火延遲數(shù)毫秒都會導(dǎo)致過量液體進(jìn)入，引起災(zāi)難性后果，通過燃燒室壓力監(jiān)測可精確控制點火時間，避免燃燒室“硬啟動”。燃燒室的間歇性燃燒、振蕩燃燒會導(dǎo)致燃燒室隔熱邊界層變薄、運載器受損等后果。獲取燃燒室內(nèi)部、推進(jìn)劑噴嘴處的實時壓力，評估壓力的低頻振動，估算室壓響應(yīng)時間，對減少間歇燃燒、振蕩燃燒，提高燃料的燃燒率，增強(qiáng)火箭的安全性具有重要意義。重型燃?xì)廨啓C(jī)是發(fā)電機(jī)組、大型船艦的動力來源，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜、參數(shù)多，工況多變。隨著G、H級燃?xì)廨啓C(jī)的普及，對燃?xì)廨啓C(jī)的穩(wěn)定性要求也越來越高。對渦輪、壓氣機(jī)、燃燒室、軸承的溫度、壓力、振動等參量的監(jiān)控，可降低燃?xì)廨啓C(jī)的故障率，減少15%~20%的維護(hù)成本。另外，監(jiān)測初氣溫度及燃燒室的壓力，對提高煤氣轉(zhuǎn)化效率，減少CO2、CO、SO2、NO、等氣體的排放具有重要意義-習(xí)。高溫壓力傳感器在航天、航空、國防建設(shè)、能源開發(fā)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用需求。常溫MEMS壓力傳感器主要以硅（Si）基壓力傳感器為主，在100℃工作溫度范圍內(nèi)，商業(yè)化的Si壓力傳感器工藝成熟、體積小、性能好，但是當(dāng)其在超過120℃環(huán)境使用時，內(nèi)部PN結(jié)會出現(xiàn)漏電，傳感器性能下降甚至失效。另外，Si材料在大于500℃時還會發(fā)生塑性變形，不能滿足高溫環(huán)境下壓力測量的需求。為此，國內(nèi)外學(xué)者將目光投向其他材料，研究耐高溫材料制備高溫傳感器的可行性。

以美國為例，1982~1990年間，用于軍事的溫度﹑壓力等五種主要傳感器，年平均增長率達(dá)到12.9%，1995年用于太空與軍事的傳感器用量約占傳感器市場總額的15%，產(chǎn)值12.5億美元，其中壓力傳感器的用量僅次于溫度傳感器。1992年美國國防部將傳感器列入《美國國防核心技術(shù)計劃》11項核心技術(shù)領(lǐng)域中的“探測器”和“電子器件”兩項中，在核心計劃中的進(jìn)度與力度明顯高于其它10個（包括計算機(jī)）領(lǐng)域。

高溫環(huán)境下的壓力測量已成為國防軍工、工業(yè)控制領(lǐng)域必須突破和掌握的基礎(chǔ)關(guān)鍵技術(shù)之一。被稱為“第三代傳感器”的薄膜壓力傳感器，自80年代推出以來，以其優(yōu)良的技術(shù)性能和耐惡劣環(huán)境能力引起世界各國的重視，在軍事裝備中得到廣泛使用。如美國用于阿波羅飛船、Viking火星探測器（CEC公司產(chǎn)1000-02型）,俄羅斯用于聯(lián)盟號飛船和暴風(fēng)雪-能源號航天飛機(jī)（奔薩研究所產(chǎn)BT-212型）,法國用于阿迪亞娜Ⅳ號和Ⅴ號運載火箭（Fagor公司產(chǎn)27 N型）。僅Viking火星探測器就使用了傳感器8000只，其中薄膜壓力傳感器300余只。

近年來，新材料的發(fā)現(xiàn)，MEMS工藝加工、封裝工藝和傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計上的突破，促進(jìn)了高溫壓力傳感器的研究工作。國外在高溫壓力傳感器的研究方面已取得了較大進(jìn)展，形成了多種類型的產(chǎn)品。相比國外，國內(nèi)高溫壓力傳感器的研究起步較晚，雖然十二五期間在基于SiC的高溫壓力傳感器的研究方面取得了一定進(jìn)展，但要實現(xiàn)傳感器真正意義上的工程化、產(chǎn)業(yè)化還需投入更多的精力。針對歐美對我國實施技術(shù)封鎖的實際情況，以及國內(nèi)高溫壓力傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀，隨著我國大型運載火箭﹑固體火箭﹑智能飛機(jī)﹑衛(wèi)星﹑空間往返載人航天器以及新型海上與水下武器任務(wù)的提出，對軍用傳感器不論在需求品種和數(shù)量上都有較大的增加，我國要完成傳感器的工程化、產(chǎn)業(yè)化，形成系列產(chǎn)品，提升技術(shù)整體水平與國際競爭力，為重型火箭發(fā)動機(jī)、航空發(fā)動機(jī)、高超發(fā)動機(jī)等先進(jìn)動力設(shè)備的研制提供技術(shù)支撐。